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By Alfred Kwok-Kit Wong

This educational summarizes optical lithography enhancement learn and improvement during the last two decades. Discusses theoretical and useful points of popular suggestions, together with optical imaging and determination, changed illumination, optical proximity correction, alternating and attenuating phase-shifting mask, choosing RETs, and second-generation RETs. priceless for college students and working towards lithographers.

Contents

- Foreword
- Preface
- checklist of symbols
- Introduction
- Optical imaging and resolution
- changed illumination
- Optical proximity correction
- Alternating phase-shifting mask
- Attenuated phase-shift mask
- opting for applicable RETs
- Second-generation RETs
- Concluding remarks
- k1 conversion charts
- Bibliography
- Index

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